第177章 国产DUV光源

    因为激光器安装运行需要的环境很苛刻，所以都是整合成为了一个部件。
    而之前走南闯北，李由等人也将目前大夏主流的几个光刻机看了个遍，摸了个遍，早已是胸有成竹。
    经历过人情冷暖的中年人可不像涉世未深的小年轻，不会轻易因为他人不理解产生的质疑而愤怒。
    用产品打脸才是最让他们暗爽的事。
    “既然贵司准备好了适配，我们实验室有这个型号的机器，就让我们拭目以待吧。”
    赵兴夏接着又补了一句：“先签个合同，以免实验过程中出现意外，造成大家不必要的损失，没问题吧？”
    “自无不可。”
    顾青笑着答应了下来，他当然是理解对方的。
    光刻机虽然没有某些跑车贵，但却比跑车难造，弄坏一台都是血亏。
    他们半导体部门的队伍去其他厂家调整适配光源设备的时候都是交了一笔试验费用和保证金的。
    甚至法务部都做了几份相关合同模板出来。
    签了合同，赵兴夏才带着顾青一行人走到另一个研究室。
    对于已经建好的光刻机工作间，每一次实验都是非常昂贵的。
    穿上堪比防护服的白色工作服，李由等人带着数个光源设备部件进入了光刻机的超洁净工作间。
    赵兴夏看着这几人很是熟练的打开光刻机系统，将光源设备更换后，又很熟练的分成两队。
    李由这一队坐在一旁的电脑工作台上手指飞舞调整参数，张岩泰则带着自己这一队在光刻机的激光调整、能量控制器这些地方进行调整。
    虽然光源设备是适配这个光刻机的，但是有很多小问题是需要处理的，不然别说芯片造不出来，光刻机损坏都是很正常的。
    工作了大半天后，李由与张岩泰一起审查了一遍，这才对着房间内的摄像头比了个ok的手势。
    “赵教授，实验就要开始了。”顾青提醒道。
    赵兴夏点了点头。
    不论是近紫外（nuv）激光还是深紫外（duv）激光，又或者最高端的极紫外光euv。
    它们都有个紫字，并非是很深奥的问题，因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。
    九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的ss1mb光源，为这个分辨率90nm的s1a60020光刻机的适配光源设备是duv深紫外光。
    光源设备运行，激光器发射出来的深紫外光
    经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。
    光掩膜台上面放的测试用的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。
    曝光台上放置着一张8英寸晶圆片，上面涂抹了光刻胶。
    半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的，但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。
    “这，这，这……”
    “这居然是真的，国产duv光源？我不是在做梦吧，老赵。”
    “纯净度极为优秀”
    刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机，嘴巴不自觉张大，眼神有些涣散。
    李由作为一个有家室的中年人，很是照顾后辈。
    他走到这人身旁，拍了拍他的肩膀。
    “回回神，这才刚开始。”
    “啊？啊？什么开始？你们可以把这个光源卖给我们吗？现在就可以用我们国产的光源了吗？”
    这位青年工程师有些语无伦次，其他研发人员和工程师亦是如此。
    整个实验室和光刻机工作间的人都震惊了。
    大夏企业自己的光源设备！
    他们等这一天多久了？
    有浦东微电子的老工程师不自觉擦起了眼泪。
    男儿有泪不轻弹，只是未到伤心处。
    这群投身国产半导体行业的老人们更是感触颇深。
    他们当年搞这个的时候……
    “造不如买、造出垃圾来卖得又贵，国产不好用。
    国产毛病多，你们别做了，还是买德国的光源吧！
    搞个光刻机净坑自己人！”
    一句句往日刁钻刻薄的话此刻在耳边回响，再看看现在那台光刻机。
    “终于有好光源了。”
    赵教授摘下眼镜，擦了又擦眼角的泪水，他身旁助理此刻也是以泪洗面。
    顾青抿着嘴，摇了摇头。
    虽然了解过大夏半导体科研的困难，但他还是低估了当年舆论环境和经济环境对这些科研人员的伤害。
    是啊，国外有成熟高端的技术，只需要花钱买，就能享受到完美的服务。
    国内还有一群榆木疙瘩，到处求人拉赞助，抠抠搜搜攒钱做实验做开发，好不容易做出点成果，因为没有经过市场适配和反馈升级，有瑕疵。
    然后就是铺天盖地的辱骂贬低，甚至“国产高科技产品”被舆论批评成为了“伪劣产品”。
    德国货、霓虹货、美版就是好。
    而浦东微电子硬是扛着这些流言蜚语，一路埋头苦干，直到现在能量产90纳米的光刻机。
    公开资料中描述用的的arf光源193纳米。
    这说明如果有更好的光源，光刻机精度将会很快得到提升。
    “你不知道啊，核心部件大功率激光器，需要稳定可控达到2万w以上的激光。这种激光器的组件只有德国和美利坚可以供应。
    我们在这一领域和他们差距巨大。因为没有需求，所以几乎没有一家公司能够提供相应的部件。
    后来哈工大的老庄替我们牵线，和他们合作后，也不得不选择功率难以提高但不需要大功率激光器的dpp方案作为切入点。
    你们公司这个项目做得真的好，真的好。”
    赵教授没有问顾青，这个光源是不是用的国外的，像当年那个畜生一样买个成品来骗他们。
    因为这种新技术光源，别说成品了，现在论文都没几篇，他们能到哪儿买？
    倒是顾青听到老庄这个词，下意识问了一句：“赵教授您说的是哈工大的庄友伟教授？”
    赵兴夏这时才戴好眼镜，点了点头。
    “就是他，我们这里还有几位是他介绍过来的哈工大学生。”
    顾青拍了拍手。
    “这不是缘分吗？我和庄教授关系也不错，我们公司的仿生机械假肢项目也有哈工大的学生。”
    两人由着这个话题聊了起来，颇有些忘年交的意思。